X (unit=0.3 mm) Y (unit=0.3 mm) TIS (ppm) 0.00000 -80.00000 5.22626 12.00000 -79.00000 5.43918 11.00000 -79.00000 5.30654 10.00000 -79.00000 5.38604 9.00000 -79.00000 5.40714 8.00000 -79.00000 5.65727 7.00000 -79.00000 5.23897 6.00000 -79.00000 5.29188 5.00000 -79.00000 5.15348 4.00000 -79.00000 5.21859 3.00000 -79.00000 5.17309 2.00000 -79.00000 5.14663 1.00000 -79.00000 5.30157 0.00000 -79.00000 5.39395 -1.00000 -79.00000 6.86663 -2.00000 -79.00000 5.33845 -3.00000 -79.00000 5.18430 -4.00000 -79.00000 5.17295 -5.00000 -79.00000 5.03383 -6.00000 -79.00000 4.99142 -7.00000 -79.00000 4.99601 -8.00000 -79.00000 5.08035 -9.00000 -79.00000 5.14998 -10.00000 -79.00000 5.34120 -11.00000 -79.00000 5.19232 -12.00000 -79.00000 5.09763 -17.00000 -78.00000 5.20995 -16.00000 -78.00000 5.08938 -15.00000 -78.00000 5.01194 -14.00000 -78.00000 5.10239 -13.00000 -78.00000 5.17764 -12.00000 -78.00000 5.20428 -11.00000 -78.00000 5.02399 -10.00000 -78.00000 5.20802 -9.00000 -78.00000 5.11254 -8.00000 -78.00000 5.07093 -7.00000 -78.00000 5.06070 -6.00000 -78.00000 5.08991 -5.00000 -78.00000 5.07666 -4.00000 -78.00000 5.24417 -3.00000 -78.00000 5.19807 -2.00000 -78.00000 5.40799 -1.00000 -78.00000 5.26561 0.00000 -78.00000 5.21482 1.00000 -78.00000 5.14517 2.00000 -78.00000 5.26799 3.00000 -78.00000 5.19966 4.00000 -78.00000 5.31977 5.00000 -78.00000 5.23891 6.00000 -78.00000 5.28417 7.00000 -78.00000 5.32621 8.00000 -78.00000 5.80118 9.00000 -78.00000 5.78903 10.00000 -78.00000 5.25529 11.00000 -78.00000 5.32902 12.00000 -78.00000 5.20936 13.00000 -78.00000 5.79664 14.00000 -78.00000 5.61429 15.00000 -78.00000 5.15469 16.00000 -78.00000 5.30554 17.00000 -78.00000 5.78492 21.00000 -77.00000 6.56908 20.00000 -77.00000 7.03498 19.00000 -77.00000 5.84323 18.00000 -77.00000 5.83778 17.00000 -77.00000 5.29653 16.00000 -77.00000 5.48291 15.00000 -77.00000 5.22199 14.00000 -77.00000 5.46806 13.00000 -77.00000 5.38216 12.00000 -77.00000 5.21298 11.00000 -77.00000 5.03009 10.00000 -77.00000 5.23114 9.00000 -77.00000 5.33590 8.00000 -77.00000 5.31061 7.00000 -77.00000 5.06526 6.00000 -77.00000 5.36435 5.00000 -77.00000 5.20936 4.00000 -77.00000 5.11508 3.00000 -77.00000 5.09490 2.00000 -77.00000 5.15800 1.00000 -77.00000 5.14813 0.00000 -77.00000 5.08393 -1.00000 -77.00000 5.10088 -2.00000 -77.00000 5.13770 -3.00000 -77.00000 5.05272 -4.00000 -77.00000 5.20541 -5.00000 -77.00000 5.02084 -6.00000 -77.00000 4.90388 -7.00000 -77.00000 4.98184 -8.00000 -77.00000 5.02791 -9.00000 -77.00000 5.05422 -10.00000 -77.00000 5.07245 -11.00000 -77.00000 5.14896 -12.00000 -77.00000 5.22852 -13.00000 -77.00000 5.35166 -14.00000 -77.00000 5.89325 -15.00000 -77.00000 5.07861 -16.00000 -77.00000 5.03512 -17.00000 -77.00000 5.01399 -18.00000 -77.00000 5.15512 -19.00000 -77.00000 5.15800 -20.00000 -77.00000 5.18034 -21.00000 -77.00000 4.98790 -24.00000 -76.00000 5.08020 -23.00000 -76.00000 5.20572 -22.00000 -76.00000 5.19095 -21.00000 -76.00000 5.11314 -20.00000 -76.00000 5.12114 -19.00000 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